等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，頂部放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質，其所擁有的電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應，產生高濃度、高強度、   量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發(fā)生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產生的原子氧。

等離子廢氣凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等離子廢氣凈化器采用了   的吸附-分解-碳化 離心式抽風安裝新工藝技術設計,采用標準模塊設計等優(yōu)點,是一種干法處理有機廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，換及維護保養(yǎng)方便。

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場+電子→高能電子

(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

等離子廢氣凈化器處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿游镔|，或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。

等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，頂部放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質，其所擁有的電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應，產生高濃度、高強度的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發(fā)生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產生的原子氧。